Автор: Николай Иванович Татаренко , Виктор Филиппович Кравченко Жанр: Наноматериалы и нанотехнологии, Электроника, микроэлектроника, схемотехника, Справочная литература: прочее, Современные российские издания, Литература ХXI века (эпоха Глобализации экономики) Серия: Год издания: 2006 Язык книги: русский Страничек: не подсчитано | |
просмотрело гостей за: | |
Читаем онлайн | |
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. | |
: 1 : 0 : 0 : 0 : 0 : 0 : 0 |